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MEMS传感器

MEMS 酒精气体传感器

MEMS 酒精气体传感器利用MEMS工艺在Si基衬底上制作微热板,所使用的气敏材料是在清洁空气中电导率 较低的金属氧化物半导体材料。当传感器所处存在气体环境中时,传感器的电导率随空气中被检测气体的浓度而发生改变。该气体的浓度越高,传感器的电导率就越高。使用简单的电路即可将电导率的变化转换为与该气体浓度 相对应的输出信号。
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产品特性

 

1.抗电磁干扰

2.低功耗、高灵敏度

3.MEMS工艺、稳定可靠

 

 

技术参数

 

工作电压 2.5±0.1V 工作电流 ≤25mA
z大加热功率 80mW 量程 50ppm(酒精)
输出方式 I2C从机模式 默认地址 0X55
I2C速率 10-100kbps 上拉电阻 需外置上拉电阻
预热时间 ≤3min 响应时间 ≤60S

 

*具体参数请以规格书为准,如需获取更多技术信息,请联系:0371-86630636