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MEMS传感器20240511
MEMS传感器-手指
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MEMS TVOC气体传感器

MEMS TVOC气体传感器利用MEMS工艺的Si基微热板和在洁净空气中电导率较低的金属氧化物半导体材料组成。当环境空气中有被检测气体存在时，传感器的电导率发生变化。该气体的浓度越高，传感器的电导率就越高。使用简单的电路即可将电导率的变化转换为与该气体浓度相对应的输出信号。

咨询热线：0371-86630636

产品特性

 

1、驱动电路简单、稳定性好、寿命长

2、尺寸小、功耗低、灵敏度高、响应恢复快

3、采用MEMS工艺，结构坚固，抗震性好

 

 

技术参数

 

参数类型 参数指标
产品类型 MEMS VOC气体传感器
标准封装 陶瓷封装
检测气体 乙醇、甲醛、甲苯等
检测浓度 1ppm～500ppm
标准电路条件 回路电压 Vc ≤24V  DC
加热电压 VH 2.5V±0.1V AC or DC
负载电阻 RL 可调
标准测试条件下
气敏元件特性		 加热电阻 RH 80Ω±20Ω（室温）
加热功耗 PH ≤50mW
敏感体表面电阻 Rs 1KΩ～30KΩ(in 50ppm乙醇)
灵敏度 S R0(in air)/Rs(in 50ppm乙醇)≥3.0
浓度斜率 α ≤0.9(R200ppm/R50ppm乙醇)
标准测试条件 温度、湿度 20℃±2℃；55%RH±5%RH
标准测试电路 VH:2.5V±0.1V；     Vc:5.0V±0.1V

 

*具体参数请以规格书为准，如需获取更多技术信息，请联系：0371-86630636

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