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MEMS传感器20240511
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MEMS 二氧化氮传感器

MEMS 二氧化氮气体传感器利用MEMS工艺在Si基衬底上制作微热板，所使用的气敏材料是在清洁空气中电导率较低的金属氧化物半导体材料。当环境空气中有被检测气体存在时传感器电导率发生变化，该气体的浓度越高，传感器的电导率就越高。使用简单的电路即可将电导率的变化转换为与该气体浓度相对应的输出信号。

咨询热线：0371-86630636

产品特性

 

1、驱动电路简单、稳定性好、寿命长

2、尺寸小、功耗低、灵敏度高、响应恢复快

3、采用MEMS工艺，结构坚固，对二氧化氮灵敏度高

 

 

技术参数

 

产品类型 MEMS二氧化氮气体传感器
标准封装 陶瓷封装
检测气体 二氧化氮
检测浓度 0.1-10ppm(NO2)
标准电路条件 回路电压 Vc ≤24V  DC
加热电压 VH 2.0V±0.1V ACorDC
负载电阻 RL 可调
标准测试条件下气敏元件特性 加热电阻 RH 80Ω±20Ω（室温）
加热功耗 PH ≤40mW
敏感体表面电阻 Rs 10KΩ-1000KΩ(in 2ppm NO2)
灵敏度 S Ro(in air)/Rs(in 2ppm NO2)≤0.5
标准测试条件 温度、湿度 20℃±2℃；55%±5%RH
标准测试电路 Vc:5.0V±0.1V；      VH:2.0V±0.1V

 

*具体参数请以规格书为准，如需获取更多技术信息，请联系：0371-86630636

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